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洁净室规划建设，亦称为无尘室或清净室规划建设。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除；并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。
一、研究对象
工业洁净室研究对象为灰尘、粒子等一次污染。生物洁净室里的微生物、病菌等活的粒子不断生长繁殖，会诱发二次污染（代谢物、粪便）。
二、控制方法及净化措施
工业洁净室主要是采取过滤方法。粗、中、高三级过滤，粗、中、高、超高四级过滤和化学过滤器。生物洁净室主要是采取铲除微生物的生长条件，控制微生物的滋生、繁殖和切断微生物的传播途径。过滤和灭菌等。
三、控制目的
工业洁净室控制有害粒子浓度。生物洁净室控制微生物的产生。繁殖和传播，同时控制代谢物。
四、对生产工艺的危害
工业洁净室的关键部位只要一颗灰尘就能造成产品的极大危害。生物洁净室则不同，有害微生物达到一定浓度后才能构成危害。
五、洁净室建筑材料的要求
工业洁净室的所有材料（墙、顶、地等）不产尘、不积尘、耐摩擦。生物洁净室的所有材料应耐水。耐腐且不能提供微生物滋生和繁殖条件。
六、对人和物进入的控制
工业洁净室内人进入要换鞋、更衣、吹淋。物体进入要清洗、擦拭。人和物要分流，洁和污要分流。生物洁净室内人进入要换鞋、更衣、淋浴、灭菌。物体进入要清洗、擦拭、灭菌。空气进入要过滤、灭菌、人物分流，洁污分流。
七、检测
灰尘粒子可用粒子计数器检测瞬时粒子浓度并显示打印。生物洁净室微生物检测不能测瞬时值。须经48小时培养才能读出菌落数量。
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